Tagagawa ng CVD SiC Coated Graphite Susceptor para sa MOCVD at Epitaxy

Pangkalahatang-ideya ng produkto

Sa epitaxial growth, ang susceptor ay may direktang impluwensya sa kung paano pantay na umiinit ang mga wafer at kung gaano ka-consistent ang growth environment sa isang run. Ang mga CVD SiC coated susceptor ng Semixlab ay gawa sa siksik na graphite at binalutan ng aming SiC process. Ano ang mga naidudulot ng mga ito?

● Maayos na thermal conduction

● Pantay na mga profile ng temperatura sa buong wafer

● Matibay na resistensya sa mga kemikal na proseso

● Mababang pagkalagas ng partikulo

● Pinahabang buhay ng bahagi sa mga mainit na lugar

Ang patong na CVD ay bumubuo ng siksik na balat na SiC na nagpoprotekta sa grapayt mula sa mga agresibong gas at nagpapalakas sa pangkalahatang tibay ng bahagi.

Pangunahing tampok

Mataas na Kadalisayan na Graphite Substrate

Gumagamit kami ng mga grado ng grapayt na nagbibigay sa iyo ng:

● Mababang bilang ng dumi

● Nahuhulaang mekanikal na tugon

● Sapat na thermal conduction

● Mahusay na resistensya sa thermal shock

Ang grapayt na ito ay matatagalan sa mabilis na mga siklo ng pag-init at paglamig.

Unipormeng CVD SiC Coating

Ang SiC layer ay nagbibigay ng:

● Mataas na katigasan ng ibabaw

● Disenteng proteksyon sa oksihenasyon

● Pinahusay na resistensya sa kalawang

● Mas kaunting panganib ng kontaminasyon

Maaaring iba-iba ang kapal ng patong at ang pagtatapos ng ibabaw upang umangkop sa iyong partikular na proseso.

Napakahusay na Thermal Uniformity

Ang pagkakaroon ng matatag na thermal field ay hindi maaaring pag-usapan para sa epitaxy. Ang pagpapares ng conduction ng graphite at mga katangian sa ibabaw ng SiC ay nakakatulong na maihatid ang:

● Pare-parehong temperatura ng wafer

● Mas matatag na pagproseso

● Mas mahusay na pag-uulit mula sa isang takbo patungo sa isa pa

Mataas na Temperatura Katatagan

Ang mga susceptor na ito ay ginawa upang makayanan ang mahihirap na kondisyon ng semiconductor:

● Mataas na temperatura ng pagpapatakbo

● Madalas na thermal cycling

● Patuloy na katatagan ng proseso sa mahabang panahon

Bakit Piliin ang Semixlab?

Advanced na Teknolohiya ng CVD Coating

Mayroon kaming praktikal na karanasan sa mga materyales na nakabatay sa carbon at CVD coating, at maaari naming iangkop ang mga bahaging graphite na pinahiran ng SiC sa iyong partikular na aplikasyon sa semiconductor.

Pasadyang Kakayahan sa Paggawa

Hinahawakan namin:

● Mga prototype

● Maliliit na pagtakbo

● Produksyon ng dami

● Mga pasadyang laki at disenyo

Kalidad

Sinusuri ang bawat bahagi para sa:

● Katumpakan ng dimensyon

● Kondisyon ng ibabaw

● Pagkakapareho ng patong

● Pagiging maaasahan ng proseso