EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
SiC Coated graphite heater para sa MOCVD
Ang Semixlab SiC Coated Graphite MOCVD Heater ay isang high-performance na heated carrier na idinisenyo para sa mga proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor na gumagamit ng chemical vapor deposition (CVD) upang bumuo ng uniporme, siksik na silicon carbide (SiC) na coating sa ibabaw ng isang ultra-high purity graphite substrate.
paglalarawan
Mga Detalye ng Produkto
Pinagsasama ng SiC Coated Graphite MOCVD Heater ang mahusay na thermal conductivity ng graphite na may mataas na temperatura at corrosion resistance ng SiC coatings, at malawakang ginagamit sa metal-organic chemical vapor deposition (MOCVD) na kagamitan upang matiyak ang katatagan at mataas na kadalisayan sa mga proseso ng paglago ng wafer epitaxy.
Mga Tampok ng Produkto ng SiC Coated Graphite MOCVD Heater
1. Napakataas na kadalisayan at katatagan ng kemikal
Purity ≥99.99995%: Ang aming Graphite Heater ay inihanda sa ilalim ng high temperature chlorination sa pamamagitan ng proseso ng CVD, na epektibong iniiwasan ang kontaminasyon ng metal at nakakatugon sa pangangailangan para sa mga ultra-clean na kapaligiran sa paggawa ng semiconductor.
Anti-chemical corrosion: Ang siksik at mataas na tigas ng SiC coating (Vickers hardness na 2500-2800) ay maaaring labanan ang pagguho ng mga acid, alkalis, salts at organic solvents, na nagpapahaba sa buhay ng serbisyo ng kagamitan sa kapaligiran ng kinakaing unti-unti.
2. Napakahusay na paglaban sa mataas na temperatura
Katatagan ng mataas na temperatura: maaari itong makatiis ng hanggang 3000°C sa inert atmosphere, matatag na operasyon hanggang 2200°C sa vacuum environment, at 1600-1700°C sa oxidizing environment, na angkop para sa matinding kondisyon ng MOCVD reaction chamber.
Mababang Coefficient ng Thermal Expansion (4.5 x 10-⁶K-¹): Ang tampok na ito ng MOCVD Graphite Heater ay epektibong binabawasan ang pag-crack o pagbabalat ng coating dahil sa mga pagbabago sa temperatura, na tinitiyak ang integridad ng istruktura sa ilalim ng pangmatagalang thermal cycling.
3. Na-optimize na pagganap ng pamamahala ng thermal
Mataas na Thermal Conductivity (200-300 W/mK): Tinutukoy ng mataas na thermal conductivity ng Graphite MOCVD Heater na mabilis at pare-parehong makakapaglipat ng init ang produkto upang makamit ang pare-parehong pamamahagi ng temperatura ng ibabaw ng wafer (±1°C), sa gayon ay epektibong nagpapabuti sa pagkakapareho ng epitaxial layer.
Disenyo ng Laminar Gas Flow Field: Pagkatapos ng tuluy-tuloy na pag-ulit at pag-upgrade ng teknolohiya, ang aming MOCVD Heater surface smoothness (Ra ≤ 0.8μm) at geometry optimization ay nagsisiguro ng pare-parehong pamamahagi ng mga reaktibong gas at binabawasan ang deposition non-uniformity na dulot ng turbulence.
Mismong
Paghahambing at Mga Kalamangan ng Teknikal na Parameter
| Katangian | Mga heater na pinahiran ng Semixlab SiC | Maginoo graphite heater |
| Pinakamataas na temperatura ng pagpapatakbo (inert) | 3000 ° C | 2500 ° C |
| Kadalisayan ng Kemikal | ≥ 99.99995% | ≤99.99 |
| Thermal conductivity | 300 W / mK | 120-150 W/mK |
| Patong pagdirikit | 415 MPa (4-point bending) | 100-200 MPa |
| Karaniwang buhay (mga siklo) | > 500 cycle | 100-200 cycle |
Competitive Advantage
Bakit Semixlab?
Pag-customize: Ang Semixlab ay nakatuon sa pagbibigay ng mga customized na produkto at teknikal na serbisyo sa aming mga customer. Sinusuportahan namin ang pag-customize ng mga hindi karaniwang sukat (hanggang sa 360mm diameter) at mga kapal ng coating (20-500μm) upang matugunan ang isang malawak na hanay ng mga pangangailangan ng kagamitan.
Global Certification: Ang aming SiC Coated Graphite Heater ay SEMI compliant, ISO 9001 certified, at ang aming mga produkto ay pangunahing ini-export sa Europe at United States, pati na rin sa Japan at South Korea, na may malaking kalamangan sa presyo/performance.
Teknikal na synergy: Matagal nang pinananatili ng Semixlab ang malapit na pakikipagtulungan sa mga nangungunang institusyon ng pananaliksik sa China, gamit ang mga patented na teknolohiya ng coating (tulad ng proseso ng SiC³ ng CGT Carbon) upang i-optimize ang mga density ng coating at thermal shock resistance.
