EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
SiC ceramic membrane
Ang SiC Ceramic Membrane na binuo ng Semixlab Semiconductor ay isang precision-engineered porous silicon carbide component na idinisenyo para sa ultra-clean at high-temperature na kapaligiran sa mga proseso ng CVD, MOCVD, at PECVD. Sa pambihirang katatagan ng kemikal, lakas ng makina, at thermal conductivity, nagbibigay ito ng maaasahang kontrol sa daloy ng gas, pagsasala ng particle, at pag-iwas sa kontaminasyon sa loob ng mga reaktor sa paggawa ng semiconductor.
paglalarawan
Sa advanced na paggawa ng semiconductor, ang SiC Ceramic Membrane ay nagsisilbing isang multifunctional na bahagi na direktang nakakaapekto sa katatagan ng proseso, pagkakapareho ng wafer, at pangkalahatang pagganap ng ani. Sa loob ng mga sistema ng CVD, MOCVD, at PECVD, ito ay gumaganap bilang isang kritikal na interface sa pagitan ng mga proseso ng gas at kapaligiran ng reaksyon, na tinitiyak ang tumpak na kontrol ng daloy ng dinamika, thermal balanse, at pagsugpo sa kontaminasyon.
Sa pamamagitan ng napakapantay nitong buhaghag na arkitektura, ang SiC membrane ay nagtataguyod ng laminar at pantay na distributed na paghahatid ng gas sa ibabaw ng wafer. Ang pare-parehong field ng daloy na ito ay nagpapaliit ng mga lokal na pagkakaiba-iba sa precursor na konsentrasyon, sa gayon ay nagpapahusay sa pagkakapareho ng kapal ng pelikula at pagkakapare-pareho ng komposisyon sa panahon ng epitaxial o dielectric na deposition. Kasabay nito, ang fine pore structure ng lamad ay gumaganap bilang isang epektibong high-temperature particle filter, kumukuha ng mga condensate, carbon residues, at submicron particulate bago sila maabot ang aktibong wafer zone—isang mahalagang salik sa pagbabawas ng depekto sa density at pagpapanatili ng mataas na pagiging maaasahan ng device.
Higit pa sa daloy at pagsasala, ang SiC ceramic matrix ay nagbibigay ng isang matatag na thermal at chemical barrier sa loob ng process chamber. Inihihiwalay nito ang mga sensitibong sangkap mula sa mga reaktibong species, pinapagaan ang kontaminasyon sa likod, at pinapanatili ang kalinisan ng silid sa panahon ng pinalawig na mga ikot ng produksyon. Sa mga rehiyon ng tambutso, ang parehong teknolohiya ng lamad ay maaaring gamitin upang patatagin ang presyon at bitag ang mga natitirang by-product, na nag-aambag sa mas malinis na mga linya ng tambutso at mas mahabang agwat ng pagpapanatili.
Sa pamamagitan ng pagsasama ng mga function na ito sa isang solong matibay na bahagi, ang SiC Ceramic Membrane ay hindi lamang nagpapabuti sa kahusayan sa pagpapatakbo ng CVD at MOCVD reactors ngunit nagbibigay-daan din sa isang mas matatag at paulit-ulit na kapaligiran sa proseso—isa na nakakatugon sa mahigpit na kadalisayan at mga kinakailangan sa pagganap ng susunod na henerasyong semiconductor fabrication.
Paano ginawa ang isang SiC ceramic membrane
Tindahan ng Produkto ng Semixlab
