Home> showlist
Ang Silicon dioxide, na mas karaniwang tinutukoy bilang SiO₂, ay isang pangunahing materyal na ginagamit sa paglikha ng maliliit na aparato. Sa Semixlab, pinoproseso namin ang silicon wafer na may mga detalyadong pattern, gamit ang tinatawag na technique sio2 dry etching g. Kaya paano gumagana ang pamamaraang ito?
Ang SiO₂ dry etching ay tumutukoy sa isang proseso ng pag-ukit ng silicon dioxide sa silicon wafer gamit ang mga tinukoy na kemikal at plasma. Ang enerhiya ay idinagdag din sa plasma, na isang uri ng gas. Sa pamamagitan ng plasma, maaari nating alisin ang SiO₂ layer nang hindi nagdudulot ng pinsala sa mga pinagbabatayan nitong layer.
Kung kailangan natin sio2 dry etching para maging mas epektibo, kailangan nating magtakda ng ilang bagay tulad ng rate ng daloy ng gas, pressure, at power differed. Sa pamamagitan ng pagsasaayos sa mga setting na ito, nagagawa nating pamahalaan kung gaano kabilis tayo makakapag-ukit at kung gaano kaepektibo ang Semixlab SiO₂ lang natin ma-etch. Ito ay mahalaga, dahil gusto naming ukit ang SiO₂ nang hindi hinahawakan ang iba pang materyales sa wafer.
Mayroong iba't ibang paraan upang maisagawa ang Semixlab SiO₂ dry etching. Isa sa mga karaniwang pamamaraan ay ang reactive ion etching (RIE), na gumagamit ng pinaghalong mga gas para sa SiO₂ layer pag-ukit ng plasma . Sa isa pang pamamaraan, ang proseso ng deep reactive ion etching (DRIE) ay ginagamit upang magbigay ng malalim na pag-ukit sa layer ng SiO₂ sa ilang hakbang.
Ang isang komplikasyon sa SiO₂ dry etching ay ang pag-iwas sa pag-alis ng anuman maliban sa Semixlab basang ukit SiO₂. Upang mapagtagumpayan ito, ang isang maskara ay maaaring magamit para sa proteksyon ng iba pang mga materyales laban sa pag-ukit. Ang isa pang hamon ay ang pagtiyak na ang pag-ukit ay pare-pareho sa buong wafer. Malutas namin ang problemang ito sa pamamagitan ng pagsasaayos ng aming gear at mga setting.
Ang Semixlab SiO 2 dry etching na ito ay ginagawa upang bumuo ng mahahalagang bahagi tulad ng mga trench at koneksyon sa mga substrate ng silikon. Ang mga piraso ay mahalaga para sa paggawa ng mga bagay tulad ng mga integrated circuit at sensor. Maaari kaming gumawa ng mga kumplikadong pattern nang tumpak sa sio2 dry etching
EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
