SiC Ceramics

Ang mga SiC ceramic ay lalong ginagamit sa mga kagamitang semiconductor, pangunahin dahil mas matibay ang mga ito sa mas mahirap na mga kondisyon. Kapag tumataas ang temperatura o nagiging mas agresibo ang proseso, ang mga materyales tulad ng quartz o silicon ay maaaring magsimulang magpakita ng mga limitasyon, at doon karaniwang pumapasok ang SiC. Sa mga proseso ng pugon tulad ng oksihenasyon o diffusion, ang mga bahagi tulad ng mga wafer boat o paddle na gawa sa SiC ay may posibilidad na mas tumagal. Napapanatili nila ang kanilang hugis at hindi nagdudulot ng labis na kontaminasyon, kahit na pagkatapos ng mahabang paggamit. Kadalasang lumilipat ang mga tao mula sa quartz para sa kadahilanang ito, lalo na kapag ang pagpapanatili ay naging masyadong madalas.

Para sa pag-ukit, ang SiC ay kadalasang pinipili dahil mas matagal itong nabubuhay sa plasma. Ang pagkakaiba sa habang-buhay kumpara sa mga piyesang silicon ay kapansin-pansin sa maraming setup, bagama't nakadepende pa rin ito sa eksaktong proseso. Medyo nakakatulong din ito sa pagkontrol ng particle, na nagiging mas sensitibo habang lumiliit ang mga node. Makikita mo rin ang SiC na ginagamit bilang mga susceptor sa MOCVD o CVD. Sa mga kasong iyon, hindi gaanong tungkol sa "lakas" kundi tungkol sa pagpapanatiling matatag ng temperatura. Bukod pa riyan, lumalabas ito sa mga piyesang chamber tulad ng mga liner o showerhead, at kung minsan ay sa paghawak din ng mga component.